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| 取代基对有机硅化合物等离子体聚合规律的影响EI | |
| 引用本文： | 周茂堂,王世才.取代基对有机硅化合物等离子体聚合规律的影响EI[J].高分子材料科学与工程,1991,7(5):23-27. |
| 作者姓名： | 周茂堂 王世才 |
| 作者单位： | 1.中国科学院长春应用化学研究所; |
| 摘 要： | 在外部电容耦合的辉光放电装置中进行了三乙氧基乙基硅烷、三乙氧基乙烯基硅烷和三甲基乙烯基硅烷的聚合。研究了体系压力、放电功率、等离子气体(N_2、Ar)及基片距离对淀积速率的影响,重点讨论了取代基的影响。并用元素分析、红外光谱和热重分析等方法研究了聚合物的结构与性能。 |
| 关 键 词： | 取代基 等离子体 含硅高聚合物 |
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