| 非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用 |
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| 引用本文： | 刘少波,李艳秋.非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用[J].激光与红外,2004,34(1):14-17. |
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| 作者姓名： | 刘少波 李艳秋 |
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| 作者单位： | 中国科学院电工研究所微纳电加工部,北京,100080;中国科学院电工研究所微纳电加工部,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028),国家"863"计划资助项目(2003AA404150)。 |
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| 摘 要： | 介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势。从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域。
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| 关 键 词： | 热释电 薄膜 非制冷红外探测器 |
| 文章编号： | 1001-5078(2004)01-0014-04 |
Fabrication and Application of Uncooled Pyroelectric Thin Film Infrared Detector |
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| LIU Shao-bo,LI Yan-qiu.Fabrication and Application of Uncooled Pyroelectric Thin Film Infrared Detector[J].Laser & Infrared,2004,34(1):14-17. |
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| Authors: | LIU Shao-bo LI Yan-qiu |
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| Abstract: | This article comprehensively describes the properties and operating principles of pyroelectric infrared detec2 tor using thin films. It summarizes the domestic and abroad research results and developing tendency from the aspects of material selection ,device structure and preparation process ,and sums up the main applications of the devices. |
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| Keywords: | pyroelectric thin film infrared detector |
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