| 表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测 |
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| 引用本文： | 姜理利,唐洁影.表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测[J].中国机械工程,2005,16(Z1):212-214. |
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| 作者姓名： | 姜理利 唐洁影 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型.
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| 关 键 词： | MEMS 微悬臂梁 失效 可靠度 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0212-03 |
| 修稿时间： | 2005年4月8日 |
Fracture Reliability Prediction for Surface-micromachined Polysilicon Micro-Cantilevers |
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| Jiang Lili,Tang Jieying.Fracture Reliability Prediction for Surface-micromachined Polysilicon Micro-Cantilevers[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):212-214. |
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| Authors: | Jiang Lili Tang Jieying |
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