| 平顶绿光晶化制备多晶硅薄膜 |
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| 引用本文： | 袁志军,楼祺洪,周军,董景星,魏运荣,王之江.平顶绿光晶化制备多晶硅薄膜[J].中国激光,2009,36(1). |
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| 作者姓名： | 袁志军 楼祺洪 周军 董景星 魏运荣 王之江 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 利用倍频Nd∶YAG激光器使玻璃基底上沉积的非晶硅薄膜成功实现了晶化.YAG激光器的倍频绿光经蝇眼透镜阵列整形后得到一光强均匀分布的平顶光束,并用此光束对非晶硅薄膜进行扫描晶化处理.分别测量了激光晶化前后薄膜的拉曼谱和表面形貌.测量结果表明,非晶硅实现了到多晶硅的相变,且晶化处理后表面起伏度明显增大.根据拉曼谱的数据计算了不同激光能量密度下薄膜的粒度大小和结晶度.结果表明,在一定能量密度(400～850 mJcm2)范围内,结晶膜的晶粒粒度和结晶度随激光能量密度升高而增大.然而能量密度大于1000 mJ/cm2后,检测不到明显的多晶硅特征峰.激光能量密度在850 mJ/cm2左右可得到最佳晶化效果.
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| 关 键 词： | 薄膜 多晶硅 激光晶化 倍频Nd∶YAG激光 平顶光束 |
Flat-Top Green Laser Crystallization of Amorphous Silicon Thin Film |
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| Yuan Zhi-jun,Lou Qi-hong,Zhou Jun,Dong Jing-xing,Wei Yun-rong,Wang Zhi-jiang.Flat-Top Green Laser Crystallization of Amorphous Silicon Thin Film[J].Chinese Journal of Lasers,2009,36(1). |
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| Authors: | Yuan Zhi-jun Lou Qi-hong Zhou Jun Dong Jing-xing Wei Yun-rong Wang Zhi-jiang |
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