超纯水的微生物污染

细菌能够通过微孔筒式过滤器!因而在生产中进行超纯水清洗时能与半导体器件相接触。用腐物寄生细菌(Saprophytic)在最佳生长温度25℃时对超纯水进行污染,人们发现,污染的增加与器件性能的下降有明显的关系。这一点在有细菌B_3时尤其明显。这种革兰氏阴性杆菌能在超纯水系统中存活并增殖。用细菌B_3的细胞悬浮液对器件BYX99N,即1200伏整流器进行处理,可明显降低它们的性能。