| 卢瑟福背散射分析 |
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| 引用本文： | 赵国庆.卢瑟福背散射分析[J].理化检验(物理分册),2002,38(1):41-46. |
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| 作者姓名： | 赵国庆 |
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| 作者单位： | 复旦大学现代物理研究所,上海,200433 |
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| 摘 要： | 对卢瑟福背散射分析的基本原理作了概要的介绍，论述了背散射分析的最佳实验条件，质量分辨率和分析灵敏度，列举了卢瑟福背散射分析在材料表面层和薄膜研究中的应用例子。
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| 关 键 词： | 卢瑟福背散射 表面层分析 薄膜分析 质量分辨率 RBS 离子能量 靶原子 |
| 文章编号： | 1001-4012(2002)01-0041-06 |
| 修稿时间： | 2000年10月25 |
RUTHERFORD BACKSCATTERING ANALYSIS |
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| ZHAO Guo,qing.RUTHERFORD BACKSCATTERING ANALYSIS[J].Physical Testing and Chemical Analysis Part A:Physical Testing,2002,38(1):41-46. |
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| Authors: | ZHAO Guo qing |
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| Abstract: | The essential principle of Rutherford backscattering analysis is explained briefly. The optimization condition of experiments, mass resolution and the sensitivity of backscattering analysis are discussed. Some applications of Rutherford backscattering analysis to the study on the surface layer of materials and on thin films are given. |
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| Keywords: | Rutherford backscattering Surface layer analysis Thin film analysis |
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