康宁将提高氟化钙的生产量 |
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引用本文: | 罗山.康宁将提高氟化钙的生产量[J].激光与光电子学进展,2001(7). |
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作者姓名: | 罗山 |
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摘 要: | 康宁公司将扩大其在北布鲁克斐尔德的设施,增加其氟化钙产量。新增的设备在2000年底安装,2001年初开始生产。该部分现在生产供给准分子激光器制造商的CaF2光学件与元件。扩展部分主要是生产光刻级的CaF2,用于深紫外光谱区。氟准分子激光157 nm波长的光刻越来越多地被看作制造前沿集成芯片的下一步技术,它需要CaF2光学件。康宁在光刻领域已有丰富的经验,长期以来,它已为各厂商提供极纯和极均匀的熔凝石英,用于248 nm和193 nm波长的光刻系统。
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