康宁激光损伤检验装置升级

康宁公司已将其半导体材料计量实验室的193 nm激光损伤检验装置升级。升级系统现在使用2000 Hz光刻激光器，将改进193 nm辐射如何影响HPFS玻璃和氟化钙晶体的物理和光学特性的能力。该玻璃用于氟化氩光刻。