| 椭偏法测光栅参数的可行性理论研究 |
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| 引用本文： | 卢向东,傅克祥,王植恒,麻建勇.椭偏法测光栅参数的可行性理论研究[J].四川激光,2003,24(1):29-31. |
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| 作者姓名： | 卢向东 傅克祥 王植恒 麻建勇 |
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| 作者单位： | 四川大学物理科学与技术学院 成都610064
(卢向东，傅克祥，王植恒)，四川大学物理科学与技术学院 成都610064(麻建勇) |
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| 摘 要： | 提出一种新的光栅测试方法-利用椭偏仪测量光栅的基本参数，同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程。首先假设一种光栅模型，计算出不同入射角的椭偏参数（△,φ),然后加入偏差量不同的高斯噪声，把加入噪声后的值（△m,φm）作为模拟测量值，采用正单纯形法进行求解，验斑点得知由这种方法求得的光栅参数接近假设的光栅参数值。反演结果表明，在扩大搜索范围时，仍可以在一定精度范围内得到准确解，这就在理论上验证了用椭偏仪测试光栅参数的可行性。
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| 关 键 词： | 光栅 椭偏测量术 正弦形光栅 正单纯形法 参数测量 |
| 修稿时间： | 2002年9月28日 |
Study of measuring gratings parameters by ellipsometric method in theory |
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| Lu Xingdong,Fu Kexiang,Wang Zhiheng,Ma Jianyong.Study of measuring gratings parameters by ellipsometric method in theory[J].Laser Journal,2003,24(1):29-31. |
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| Authors: | Lu Xingdong Fu Kexiang Wang Zhiheng Ma Jianyong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ellipsometry sinusoidal gratings normal simplex algorithm |
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