| 基于温控系统的太赫兹可调谐滤波器 |
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| 引用本文： | 付陈忠,谢静雅.基于温控系统的太赫兹可调谐滤波器[J].光学仪器,2021,43(6):58-63. |
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| 作者姓名： | 付陈忠 谢静雅 |
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| 作者单位： | 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093 |
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| 摘 要： | 集成太赫兹滤波器是实现集成太赫兹通信系统的基本器件之一，为了使太赫兹滤波器实现片上可调，提出了基于温控系统的太赫兹可调谐滤波器。相比于其他的太赫兹滤波器，提出的片上可调谐滤波器的调谐方法简单，尺寸小，可以很好地与其他太赫兹器件集成到晶片上。利用温控系统改变晶片的温度，再利用硅材料的热光效应改变折射率，使得微环耦合状态发生变化，从而让太赫兹滤波器的谐振峰发生漂移。在将加热片从30℃逐渐加温到90℃的过程中，太赫兹可调谐滤波器在180 GHz附近的谐振峰中心频率从180.453 GHz逐渐减小到180.224 GHz，变化范围为0.229 GHz，谐振深度从-68 dB逐渐变化为-44 dB，半高宽由原来的0.040 GHz逐渐变为0.246 GHz。
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| 关 键 词： | 太赫兹波 滤波器 温控系统 集成太赫兹器件 |
| 收稿时间： | 2021/3/15 0:00:00 |
Terahertz tunable filter based on temperature control system |
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| FU Chenzhong,XIE Jingya.Terahertz tunable filter based on temperature control system[J].Optical Instruments,2021,43(6):58-63. |
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| Authors: | FU Chenzhong XIE Jingya |
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| Affiliation: | School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | terahertz filter temperature control system integrated terahertz devices |
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