| 电容式微机械陀螺仪信号检测电路 |
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| 引用本文： | 张云福,吕梦琴,罗亮,李荣宽. 电容式微机械陀螺仪信号检测电路[J]. 传感技术学报, 2013, 26(6) |
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| 作者姓名： | 张云福 吕梦琴 罗亮 李荣宽 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子工程学院,成都,611731;电子科技大学电子工程学院,成都,611731;电子科技大学电子工程学院,成都,611731;电子科技大学电子工程学院,成都,611731 |
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| 摘 要： | 本文提出了一种电容式微机械陀螺仪信号检测方案。该方案与将信号调制到高频后再检测的方案不同，所提方案只需在质量块上加一稳定直流电压，然后与敏感前端CV转换电路相连接，完成电容变化信号到电压信号的检测，因此，简化了电路结构，并且可以消除静态检测电容不相等所造成的误差和获得较低的等效输入噪声。文章对所设计的电路进行了简要介绍，并且对电路噪声性能进行了分析与推导，在Cadence环境下, 基于标准 0.25 um COMS工艺模型, 对电路进行设计和仿真，显示该电路可达1.2aF的电容分辨率。
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 检测电路 仿真 电容分辨率 |
A Readout Circuit for Capacitive Vibratory Micro-gyroscopes |
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| Keywords: | Micro-gyroscopes Readout Circuit Simulation Capacitance resolution |
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