| 基于微机电技术的硅基射频电感的设计与仿真 |
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| 引用本文： | 章白瑜,高建军.基于微机电技术的硅基射频电感的设计与仿真[J].电子器件,2013,36(2). |
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| 作者姓名： | 章白瑜 高建军 |
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| 作者单位： | 华东师范大学信息科学技术学院 |
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| 摘 要： | 本文对基于微机电技术（MEMS）的硅基射频电感的设计技术进行了介绍，利用三维电磁仿真软件设计了两种不同结构的MEMS电感，给出了相应的等效电路模型并进行了参数提取。
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| 关 键 词： | MEMS 立体电感 品质因数 等效电路 |
Design and Simulation of Si-Based MEMS Inductor |
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| Abstract: | This paper introduces the design techniques of radio frequency (RF) inductor developed by using micro-electromechanical systems (MEMS) fabrication technology. Two kinds of 3-Dimension MEMS inductors are designed with HFSS software, the corresponding equivalent circuit models are given. |
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