| 基于MEMS的微位移传感器及其应用研究 |
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| 引用本文： | 孙凤鸣,傅星,朱振宇,高赛,张超.基于MEMS的微位移传感器及其应用研究[J].传感技术学报,2013,26(2). |
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| 作者姓名： | 孙凤鸣 傅星 朱振宇 高赛 张超 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京,100095;物理技术研究院,德国不伦瑞克38116 |
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| 摘 要： | 对一种基于MEMS探针进行开发，以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构，含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移，梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统，利用该系统进行进针实验，标定测头的灵敏度为2.323nm/mV，实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头，搭建小型SPM系统，对108nm台阶高度的光栅结构进行了扫描。
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| 关 键 词： | MEMS位移传感器 静电梳齿结构 微扫描探针测头 SPM应用 |
MEMS based micro displacement sensor and its application |
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