（论坛）采用ALD方法制备TiO2/Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来增强背镀结构的反射效率

文中首次采用原子层沉积法制备TiO2/Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来制备了高反射率的背反射镜。制备的多层布拉格反射镜加Al镜和多层布拉格反射镜加Ag镜有很好的平整度和厚度的精确性，并且反射率高于96%。此外，TiO2/Al2O3布拉格反射镜和Al与蓝宝石衬底都有良好的粘合性，这样可以节省制备步骤并且可以得到高质量的背反射镜。利用原子层沉积技术和TiO2/Al2O3布拉格反射镜，我们得到了高反射率，角度依赖性小，更加稳定以及均一性更好的背反射镜，可以满足高亮度LED的需求。