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氦镉激光中的氦气清除
作者姓名:邱明新
摘    要:本文研究氦镉激光寿命问题时,观察到氦气的清除是该激光器寿命的主要原因。除了由于镉蒸汽凝结引起的气体清除以外,阴极溅射引起氦气的清除也可能成为主要的因素。因此,在实验中采用了铝、铜,钼、锆、钽、镍,氧化物、钡钨和空心氧化物阴极等阴极材料,分别在有镉和无镉情况下做了寿命实验。发现不同阴极材料或同一材料不同阴极工艺过程,氦气清除速率可相差一个数量级以上,钽和钼是其中比较好的材料。钽和钼冷阴极在适当的阴极工艺下,可获得大功率长寿命的氮镉激光。

关 键 词:清除速率 激光器 氦气 无镉 氧化物阴极 阴极材料 阴极溅射 寿命问题 寿命实验 工艺过程
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