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| 用YAG声光调Q激光进行电阻调整 | |
| 作者姓名： | 陆世桢 沈振东 李福金 吴东风 魏洁云 立人（摘） |
| 作者单位： | [1]上海市激光技术研究所 [2]不详 |
| 摘 要： | 本文综述了用YAG声光调Q激光对薄、厚膜电路进行微调的原理、器件和光学系统。叙述了激光调阻的优点、工艺及影响激光调阻精度的几个参数。给出了激光调阻的二个实例。 |
| 关 键 词： | 调Q激光 YAG 电阻调整 声光 激光调阻 厚膜电路 光学系统 器件 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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