| 多弧离子镀制备TiN／Cu纳米复合超硬膜的工艺研究 |
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| 引用本文： | 穆静静,王从曾,马捷,黄建斌. 多弧离子镀制备TiN／Cu纳米复合超硬膜的工艺研究[J]. 金属热处理, 2008, 33(9) |
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| 作者姓名： | 穆静静 王从曾 马捷 黄建斌 |
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| 作者单位： | [1]北京工业大学材料科学与工程学院,北京100022 [2]宁夏西北奔牛集团公司,宁夏石嘴山753001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，北京市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用多弧离子镀制备了TiN/Cu纳米复合膜,通过设计Cu靶的开启方案对涂层进行成分调节,运用正交试验找出了影响膜层硬度的主次因素,并对膜层的成分、结构和性能进行了研究.结果表明,N2分压和Cu元素的加入是影响膜层硬度的主要因素;Cu的加入抑制了TiN晶粒的生长,且随着Cu含量的增加,TiN晶粒逐渐变小,并由柱状晶转变为等轴纳米晶;当Cu含量达到1.4at%时,制备的纳米复合膜具有47.4 GPa的超高硬度.
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 TiN/Cu纳米复合膜 纳米晶 硬度 |
Research on technology of TiN/Cu superhard nanocomposite films prepared by multi-arc ion plating |
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| MU Jing-jing,WANG Cong-zeng,MA Jie,HUANG Jian-bin. Research on technology of TiN/Cu superhard nanocomposite films prepared by multi-arc ion plating[J]. Heat Treatment of Metals, 2008, 33(9) |
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| Authors: | MU Jing-jing WANG Cong-zeng MA Jie HUANG Jian-bin |
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