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| Fe—Zr—B非晶磁性薄膜制备工艺对性能的影响 | |
| 引用本文： | 徐炜新,程新利.Fe—Zr—B非晶磁性薄膜制备工艺对性能的影响[J].上海钢研,2002(2):15-19. |
| 作者姓名： | 徐炜新 程新利 |
| 作者单位： | [1]上海市金属功能材料应用与开发重点实验室 [2]中科院上海冶金研究所,上海200050 |
| 摘 要： | 用JGP560D型双室多功能磁控溅射仪成功制备了Fe-Zr-B非晶磁性薄膜，并获得了良好的磁性能，研究了制备工艺对薄膜性能的影响。 |
| 关 键 词： | Fe－Zr－B合金 非晶薄膜 磁控溅射 磁性能 制备工艺 |
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