| 多晶硅生产原料中添加四氯化硅的工艺研究 |
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| 引用本文： | 方旭升,刘勇,陈吉,罗旭峰,谢淼波,何大伟. 多晶硅生产原料中添加四氯化硅的工艺研究[J]. 现代化工, 2012, 32(7): 85-87 |
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| 作者姓名： | 方旭升 刘勇 陈吉 罗旭峰 谢淼波 何大伟 |
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| 作者单位： | 四川新光硅业科技有限责任公司,四川乐山,614000 |
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| 摘 要： | 提高精馏塔塔顶温度,在原料三氯氢硅中混入体积分数0.9%～20.3%的四氯化硅;调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度,弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响。显著降低了尾气组分中四氯化硅的含量,而多晶硅产品品质和沉积速度无明显变化。优化条件下,进气中STC质量分数从4.21%增加到18.11%,尾气中STC质量分数从32.05%减小到
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| 关 键 词： | 多晶硅 原料 添加 四氯化硅 尾气 |
Process study on addition of silicon tetrachloride to raw materials for poly-silicon production |
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| FANG Xu-sheng , LIU Yong , CHEN Ji , LUO Xu-feng , XIE Miao-bo , HE Da-wei. Process study on addition of silicon tetrachloride to raw materials for poly-silicon production[J]. Modern Chemical Industry, 2012, 32(7): 85-87 |
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| Authors: | FANG Xu-sheng LIU Yong CHEN Ji LUO Xu-feng XIE Miao-bo HE Da-wei |
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| Affiliation: | (Sichuan Xinguang Silicon Technology Co.,Ltd.,Leshan 614000,China) |
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