| 一种新型谐振式微加速度计设计和分析 |
| |
| 引用本文： | 何高法,唐一科,何晓平,刘世明. 一种新型谐振式微加速度计设计和分析[J]. 微纳电子技术, 2007, 0(Z1) |
| |
| 作者姓名： | 何高法 唐一科 何晓平 刘世明 |
| |
| 作者单位： | 重庆大学机械工程学院，重庆大学机械工程学院，中国工程物理研究院电子工程研究所，重庆科技学院机械系 重庆400030，重庆科技学院机械系，重庆400050，重庆400030，重庆科技学院机械系，重庆400050，四川绵阳621900，重庆400050 |
| |
| 摘 要： | 为提高谐振式加速度计的灵敏度,设计了基于两级微杠杆机构和DETF谐振器的新型谐振式微加速度计结构;用解析法分析了加速度计灵敏度和结构各参数之间的关系,并以此对结构参数进行了优化设计。理论计算表明,所设计的加速度计灵敏度约为56Hz/g;由有限元仿真分析也得出了相似的结论。
|
| 关 键 词： | 微机电系统 微加速度计 谐振 微杠杆 |
Design and Analysis of a Novel Micro Resonant Accelerometer |
| |
| HE Gao-fa,,TANG Yi-ke,,HE Xiao-ping,LIU Shi-ming. Design and Analysis of a Novel Micro Resonant Accelerometer[J]. Micronanoelectronic Technology, 2007, 0(Z1) |
| |
| Authors: | HE Gao-fa TANG Yi-ke HE Xiao-ping LIU Shi-ming |
| |
| Affiliation: | HE Gao-fa1,2,TANG Yi-ke1,2,HE Xiao-ping3,LIU Shi-ming2 |
| |
| Abstract: | A novel micro resonant accelerometer was designed for increaseing the sensitivity of resonant accelerometer.The structure of the accelerometer was based on two stages micro leverage and DETF.The relationships about the sensitivity of accelerometer and each structure parameter were analyzed by the theory method and FEM,and the parameters were optimized.The FEM and theory method show the same conclusion,that the sensitivity of the accelerometer is about 56 Hz/g. |
| |
| Keywords: | MEMS micro accelerometer resonant micro leverage |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
