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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
风云一号气象卫星用三元线列硅探测器
作者姓名:
梁平治
张忠堂
孙德庆
谈德明
作者单位:
中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所 上海 200083,上海 200083,上海 200083,上海 200083
摘 要:
根据对器件响应率光谱分布、暗电流、结电容的要求,确定了硅材料参数和有关工艺参数。讨论了为提高器件可靠性及防止光串音,在器件结构设计上采用的光敏元圆角化、加保护铝环和铝屏蔽、浓磷扩散等措施。研制的器件响应率在632.8nm时为0.3A/W,在-10V,25℃时暗电流为5×10~(-11)A,结电容为29pF。器件通过了严格的老化筛选和各种环模试验,因而能适应于空间环境的使用要求。
关 键 词:
线列硅探测器
量子效率
响应率光谱分布
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