| 钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺研究 |
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| 引用本文： | 蒋文娟,孟凡涛,潘光慎,王珊,单连聚. 钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺研究[J]. 硅酸盐通报, 2013, 32(11): 2366-2369 |
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| 作者姓名： | 蒋文娟 孟凡涛 潘光慎 王珊 单连聚 |
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| 作者单位： | 山东理工大学材料科学与工程学院,淄博,255049 |
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| 基金项目： | 山东省自然科学基金(ZR2010EM031) |
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| 摘 要： | 采用热分析、显微分析、扫描电镜分析等方法对样品进行检测,研究了钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺,确定了合理的脱脂升温制度和脱脂气氛.结果表明,脱脂升温速率为1～2℃/min,并于215℃、350℃保温15min,脱脂后样品光滑平整,宏观无缺陷;湿氢气气氛下脱脂可以将有机成分完全排除,避免了出现碳残余、金属化层被氧化以及脱层等问题.
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| 关 键 词： | 氧化铝陶瓷基片 金属化 脱脂, |
Degreasing Process Research of Alumina Ceramic Substrates Metalized with Tungsten Paste |
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| JIANG Wen-juan,MENG Fan-tao,PAN Guang-shen,WANG Shan,SHAN Lian-ju. Degreasing Process Research of Alumina Ceramic Substrates Metalized with Tungsten Paste[J]. Bulletin of the Chinese Ceramic Society, 2013, 32(11): 2366-2369 |
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| Authors: | JIANG Wen-juan MENG Fan-tao PAN Guang-shen WANG Shan SHAN Lian-ju |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | alumina ceramic substrate metallization degreasing, |
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