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用CVD法在（100）Si衬底上沉积Si1—x—yGexCy膜

引用本文：	青春.用CVD法在（100）Si衬底上沉积Si1—x—yGexCy膜[J].电子材料快报,1995(7):10-11.

作者姓名：	青春

摘要：
关键词：	CVD法 Si衬底 SiGeC薄膜金刚石薄膜
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