| 基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析 |
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| 引用本文： | 陈自然,黎锡,冯曦颉,陈鸿友,张桁潇,余海游. 基于差极结构的绝对式直线时栅位移传感器研究及测量误差特性分析[J]. 光学精密工程, 2022, 30(6): 667-677. DOI: 10.37188/OPE.20223006.0667 |
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| 作者姓名： | 陈自然 黎锡 冯曦颉 陈鸿友 张桁潇 余海游 |
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| 作者单位： | 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆400054;时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室,重庆400054 |
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| 基金项目： | 中国博士后科学基金;重庆理工大学研究生创新项目;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对传统绝对式位移传感器复杂编码和严苛光刻加工的难题,提出了一种"精机定位+精机测量"的差极结构绝对式时栅位移测量新方法.传感器定尺分为两列对极数相差1的激励绕组,每列激励绕组由空间正交排布的正/余弦绕组构成.通过施加正交激励电流,采用动尺正弦形感应绕组拾取时变磁场,得到两路行波信号.通过信号解耦以精机定位和精机测量的...
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| 关 键 词： | 绝对式位移测量 时栅传感器 差极结构 测量误差分析 |
Research on absolute linear time-grating displacement sensor with one-pole-difference structure and analysis of measurement error characteristics |
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| CHEN Ziran,LI Xi,FENG Xijie,CHEN Hongyou,ZHANG Hengxiao,YU Haiyou. Research on absolute linear time-grating displacement sensor with one-pole-difference structure and analysis of measurement error characteristics[J]. Optics and Precision Engineering, 2022, 30(6): 667-677. DOI: 10.37188/OPE.20223006.0667 |
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| Authors: | CHEN Ziran LI Xi FENG Xijie CHEN Hongyou ZHANG Hengxiao YU Haiyou |
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