Affiliation: | 1. Ruhr-Universit?t Bochum, Lehrstuhl für Fluidverfahrenstechnik, Universit?tsstra?e 150, 44801 Bochum, Deutschland;2. Ehrfeld Mikrotechnik GmbH, Mikroforum Ring 1, 55234 Wendelsheim, DeutschlandCorrespondence: Anne‐Laura Sengen (Email:), Ruhr-Universit?t Bochum, Lehrstuhl für Fluidverfahrenstechnik, Universit?tsstra?e 150, 44801 Bochum, Deutschland.;3. Ehrfeld Mikrotechnik GmbH, Mikroforum Ring 1, 55234 Wendelsheim, Deutschland |