石英玻璃夹封工艺研究

石英玻璃的膨胀系数α=5.10×10-7/℃,在0~1 000℃金属的膨胀系数普遍高于石英玻璃,因而石英玻璃和金属暂无匹配性封接工艺。介绍目前石英玻璃的非匹配封接工艺。对采用钼片进行夹封的封接工艺进行研究,分析影响夹封质量和可靠性的主要因素,提出了改进方向。