| 基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构 |
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| 引用本文： | 李秋柱,刘毅,牛康康,刘君,丑修建. 基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构[J]. 测试技术学报, 2009, 23(3) |
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| 作者姓名： | 李秋柱 刘毅 牛康康 刘君 丑修建 |
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| 作者单位： | 中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目 |
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| 摘 要： | 垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌, 更适合具有台阶结构的微纳结构, 其分辨率高、解算速度快、精度较高. 本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法, 对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析, 并重构台阶结构的表面形貌, 微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求, 即光强峰值附近没有达到饱和, 得出了清晰的三维形貌图, 解算出的台阶高度和实际台阶高度一致, 其横向分辨率为 1.6 μm, 纵向分辨率为 0.05 μm.
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| 关 键 词： | 微器件 白光干涉 垂直扫描法 包络线 零光程差位置 |
Reconstruction of the 3D Surface Profile of Micro Device Based on White-Light Interference Measurement Technology |
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| LI Qiuzhu,LIU Yi,NIU Kangkang,LIU Jun,CHOU Xiujian. Reconstruction of the 3D Surface Profile of Micro Device Based on White-Light Interference Measurement Technology[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 2009, 23(3) |
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| Authors: | LI Qiuzhu LIU Yi NIU Kangkang LIU Jun CHOU Xiujian |
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| Affiliation: | National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology of North University of China;Taiyuan 030051;China |
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| Abstract: | Vertical scanning interferometry can realize the reconstruction of surface profile of micro structures,especially for step structures. It is extensively applied to micro systems due to its fast computing speed and high accuracy and resolution.In this paper,the interferograms being got value from the micro system analyzer are analyzed using vertical scanning interferometry,and the 3D surface profile of the micro step structure is reconstructed.The interferograms meet the demands of the vertical scanning inte... |
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| Keywords: | micro device white-light interference vertical scanning interferometry envelope zero optical path difference |
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