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| 溅射离子泵 | |
| 引用本文： | 麻莳立男 ,翁国屏.溅射离子泵[J].真空,1978(6). |
| 作者姓名： | 麻莳立男 翁国屏 |
| 摘 要： | 1.前言 可称为溅射离子泵(以下简称离子泵)的前驱Gurewitsch和 Westendorp(1)在 “给编 辑一封信中”命名的。Ionic Pump”是在1954年发表的,距离现在已经23年了。也许因 为当时使用了单个的环形阳极,只能获得5 × 10-7乇(6.7 × 10-5帕)。从潘宁规的工作范围 来看,当时认为这种泵的极限压力就是这个程度,所以并没有引起人们的注意。但是四年以 后,Hall(2),Jepsen(3)等人研制的“Electronic Ultrahigh Vacuum Pump” 采用了复数圆筒阳极和强磁场,在结构上能进行充分的烘烤,而获得了10-10乇(10-8帕)。 于是开阔了通向实用超高真空… |
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