| PT种子层对微力传感器性能的影响 |
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| 引用本文： | 孟汉柏,崔岩,王兢,陈会林,王立鼎.PT种子层对微力传感器性能的影响[J].传感技术学报,2008,21(3):461-464. |
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| 作者姓名： | 孟汉柏 崔岩 王兢 陈会林 王立鼎 |
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| 作者单位： | 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,辽宁,大连,116023;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023;大连理工大学电子与信息工程学院,辽宁,大连,116023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(90207003,90607002) |
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| 摘 要： | 为了提高微牛顿量级微力传感器的灵敏度,比较了有PT种子层和无PT种子层的PZT压电薄膜对微力传感器性能的影响。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PZT和PT/PZT/PT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用半导体参数测试仪测试了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的漏电流。结果表明,在同为600℃退火温度下,两种薄膜均具有钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向。当外加电压增加时,PZT薄膜的漏电流基本保持不变;PT/PZT/PT薄膜的漏电流变化在1nA左右。最后应用MEMS工艺分别制作了基于PZT,PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器,并在静态和准静态下对微力传感器的传感特性进行了测试。测试结果表明,添加PT种子层对微悬臂梁的弹性系数基本没有影响,但微悬臂梁的灵敏度显著增加。
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| 关 键 词： | PZT薄膜 PT/PZT/PT薄膜 微悬臂梁 微力传感器 压电系数 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)03-0461-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Influence of the PT seeding layer to the properties of the microforce sensor |
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| MENG Han-bai,CUI Yan,WANG Jing,CHEN Hui-lin,WANG Li-ding.Influence of the PT seeding layer to the properties of the microforce sensor[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(3):461-464. |
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| Authors: | MENG Han-bai CUI Yan WANG Jing CHEN Hui-lin WANG Li-ding |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PZT thin film PT/PZT/PT thin film microcantilevers microforce sensors piezoelectric constant |
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