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| 超精表面粗糙度的原子力显微镜测量 | |
| 引用本文： | 关国强. 超精表面粗糙度的原子力显微镜测量[J]. 机械工程师, 2004, 0(4): 79-80 |
| 作者姓名： | 关国强 |
| 作者单位： | 哈尔滨理工大学,机械动力工程学院,黑龙江,哈尔滨,150080 |
| 摘 要： | 介绍了表面粗糙度的形成及原子力显微镜的工作原理，实验结果表明，采用原子力显微镜测量超精加工表面粗糙度可使测量精度达到了纳米级，通过对表面粗糙度测量结果的分析，验证了方法的可靠性。 |
| 关 键 词： | 表面粗糙度 原子力显微镜 测量 工作原理 超精加工 |
| 文章编号： | 1002-2333(2004)04-0079-02 |
| 修稿时间： | 2004-02-26 |
The Atomic Force Microscope(AFM)for Measurement of the Roughness of the Ultra-precise Surfaces |
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