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电化学沉积ZnSe薄膜的工艺研究
引用本文:唐建生,缪娟,张成光. 电化学沉积ZnSe薄膜的工艺研究[J]. 太阳能学报, 2009, 30(6)
作者姓名:唐建生  缪娟  张成光
作者单位:1. 河南工业职业技术学院,南阳,473009
2. 河南理工大学,焦作,454010
摘    要:从理论上分析了硫酸锌和亚硒酸钠在简单酸性溶液中进行电化学共沉积制备ZnSe薄膜的可行性;然后,在硫酸锌和亚硒酸钠的酸性柠檬酸钠电解液体系中进行ZnSe薄膜生长条件系列实验,为了进一步研究电化学沉积参数对薄膜成分和形貌的影响,采用正交试验方法,对pH值、离子的浓度比、电流密度、络合剂、温度等沉积参数进行了进一步详细研究,得到了最佳电化学沉积参数;最后,用分光光度计、扫描电子显微镜(SEM)和X-射线衍射仪(ⅪⅢ)对薄膜的成分、形貌和结构进行分析和表征,表明该薄膜的化学计量比接近1:1.

关 键 词:电化学沉积  ZnSe薄膜  沉积参数  正交试验

STUDY ON TECHNOLOGY OF EELECTROCHEMICAL CO-DEPOSITION FOR ZNSE THIN FILMS
Tang Jiansheng,Miao Juan,Zhang Chengguang. STUDY ON TECHNOLOGY OF EELECTROCHEMICAL CO-DEPOSITION FOR ZNSE THIN FILMS[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 2009, 30(6)
Authors:Tang Jiansheng  Miao Juan  Zhang Chengguang
Abstract:
Keywords:
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