He~+辐照对非晶碳氢薄膜表面硬度的影响 |
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引用本文: | 孙莉,范红玉,李梦轲,刘东平,杨德明,杨杞,牛金海.He~+辐照对非晶碳氢薄膜表面硬度的影响[J].功能材料,2013(Z1):67-70. |
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作者姓名: | 孙莉 范红玉 李梦轲 刘东平 杨德明 杨杞 牛金海 |
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作者单位: | 辽宁师范大学物理与电子技术学院;大连民族学院物理与材料工程学院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(20803007,11175038,10875025) |
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摘 要: | 在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜。采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017ions/cm2的He离子(He+)对非晶碳氢薄膜进行辐照实验。通过基于原子力显微镜(AFM)的纳米压痕和纳米划痕技术,对He+辐照前后碳氢薄膜的表面硬度进行分析。结果表明,经He+辐照后碳氢薄膜的表面硬度明显增加,并且随着He+辐照剂量增加,碳氢薄膜的表面硬度呈逐渐增加的趋势。傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和拉曼光谱分析表明,He+辐照会导致碳氢薄膜中sp2C键含量明显增加,而sp3C键及H原子的含量明显降低,这可能是引起碳氢薄膜硬度变化的主要原因。
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关 键 词: | 非晶碳氢薄膜 辐照 硬度 纳米压痕 |
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