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| ZnO压电膜和它的应用 | |
| 引用本文： | 中钵宪贤,黄焕琼.ZnO压电膜和它的应用[J].压电与声光,1979(1). |
| 作者姓名： | 中钵宪贤 黄焕琼 |
| 作者单位： | 东北大学电信研究所 (日) |
| 摘 要： | 在非铁电晶体中,由于ZnO有低的介电常数和大的机电耦合系数,因此,ZnO压电膜可以用于甚高频和特高频波段的声体波以及表面波器件.本文叙述了ZnO压电膜制造技术特别是溅射技术的现状,对日本发展的基板侧置式直流二极溅射法和为了得到取向好的ZnO膜而常常采用的基板平置式射频溅射法作了比较,文中还叙述了ZnO压电膜在各种超声器件中的应用,例如超声换能器,复合谐振器,凹面换能器,表面波滤波器,表面波放大器,表面波卷积器,图象扫描器,表面波存贮器,以及表面声光器件等.在这些器件中,ZnO膜表面波滤波器可望在不久的将来广泛地应用于电视机中. |
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