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电感变化率对涡流传感器性能影响的仿真研究
引用本文:荣锋,王一,郭翠娟,闫淑霞.电感变化率对涡流传感器性能影响的仿真研究[J].传感技术学报,2019,32(10):1467-1472.
作者姓名:荣锋  王一  郭翠娟  闫淑霞
作者单位:天津工业大学电子与信息工程学院,天津300387;天津市光电检测技术与系统重点实验室,天津300387;天津工业大学电子与信息工程学院,天津,300387
基金项目:天津市科委青年基金项目(15JCQNJC42100)、天津市科技特派员项目(16JCTPJC48100、16JCTPJC47200)
摘    要:为了提高涡流传感器的电感灵敏度和热稳定性,研究了探头线圈的结构、激励频率和温度对线圈电感变化率的影响。首先通过COMSOL Multiphysics仿真软件构建稳态物理模型并加入瞬态温度模块,通过参数化扫描仿真,验证该模型的合理性。其次在稳态恒温实验条件下对线圈内外半径、厚度、匝数进行仿真,得到导线直径不超过40μm、内半径0.1mm^0.5mm、外半径2.5mm的60匝单层平面线圈的电感灵敏度和测量分辨率最佳。最后在瞬态变温实验条件下得到激励频率900kHz时可以最大程度的提高传感器热稳定性和电感灵敏度,减小温度引起的误差。

关 键 词:涡流传感器  电感变化率  COMSOL仿真  灵敏度  热稳定性

Simulation Study on the Effect of Inductance Change Rate on Performance of Eddy Current Sensor
RONG Feng,WANG Yi,GUO Cuijuan,YAN Shuxia.Simulation Study on the Effect of Inductance Change Rate on Performance of Eddy Current Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2019,32(10):1467-1472.
Authors:RONG Feng  WANG Yi  GUO Cuijuan  YAN Shuxia
Affiliation:(School of Electronics and Information Engineering,Tianjin Polytechnic University,Tianjin 300387,China;Tianjin Key Laboratory of Optoelectronic Detection Technology and System,Tianjin 300387,China)
Abstract:RONG Feng;WANG Yi;GUO Cuijuan;YAN Shuxia(School of Electronics and Information Engineering,Tianjin Polytechnic University,Tianjin 300387,China;Tianjin Key Laboratory of Optoelectronic Detection Technology and System,Tianjin 300387,China)
Keywords:eddy current sensor  inductance change rate  COMSOL simulation  sensitivity  thermal stability
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