| 基于银膜-石墨烯复合膜对称结构的SPR传感器研究 |
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| 引用本文： | 盛祥,刘瑾,杨海马.基于银膜-石墨烯复合膜对称结构的SPR传感器研究[J].传感技术学报,2019,32(11). |
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| 作者姓名： | 盛祥 刘瑾 杨海马 |
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| 作者单位： | 上海工程技术大学电子与电气工程学院,上海,201620;上海理工大学光电与计算机工程学院,上海,200093 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(61701296、U1831133)、上海市自然科学基金项目(17ZR1443500)、宝山区科技创新专项基金项目(17-C-21)、上海航天科技创新基金项目(SAST2017-062)、上海市应用型上海工程技术大学电气工程及其自动化专业建设项目。 |
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| 摘 要： | 针对棱镜激励银膜SPR传感器灵敏度虽然较金膜结构高，但易被氧化、稳定性较差的缺点，提出一种棱镜耦合激励银膜－石墨烯－介质－石墨烯－银膜复合膜对称结构的SPR传感器，增加石墨烯膜层，解决银膜SPR传感器易氧化导致稳定性下降问题，采用角度调制的方法对SPR传感结构进行了性能参数分析，研究了金属材质、石墨烯以及检测介质的厚度对传感性能的影响。结果表明，银膜相比金膜，具有更好的共振效果，灵敏度较高，通过调节检测介质的厚度，可以改变角度的调节范围，实现了传感器的可调性，对称传感结构可以产生双共振峰SPR曲线，为分布式传感提供了可供参考的依据，石墨烯优化并提高了传感器的稳定性和检测灵敏度。
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| 关 键 词： | SPR传感器 对称传感结构 石墨烯 角度调制 灵敏度 |
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