微惯性测量单元研究

微惯性测量单元(Micro Inertial Measurement Unit, MIMU)具有体积小、功耗低、成本低、可靠性高等特点，在车辆/舰船稳定控制平台、导航控制系统、小型弹类武器制导系统中具有广阔的市场应用前景。陀螺仪及微机械加速度计是MIMU的主要元件，MIMU作为惯性制导系统的核心元件，其体积和性能不但直接影响惯性系统的精度，还决定了它在惯性制导系统的应用范围。主要介绍了基于三轴MEMS陀螺及三轴MEMS加速度计的小体积低成本微惯性测量单元的研究，通过对敏感器件的误差补偿和信号降噪等措施来提高MIMU系统指标精度，使其适用于较高要求的应用领域。