| 微纳测量机靶镜正交偏差角测量不确定度评定 |
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| 引用本文： | 黄强先,张祖杨,郭小倩,陈志文,李红莉,程荣俊,张连生.微纳测量机靶镜正交偏差角测量不确定度评定[J].电子测量与仪器学报,2022,36(10):1-8. |
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| 作者姓名： | 黄强先 张祖杨 郭小倩 陈志文 李红莉 程荣俊 张连生 |
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| 作者单位： | 1.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，2.合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划项目（2019YFB2004901）资助 |
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| 摘 要： | 三维靶镜是微纳米坐标测量机系统中的重要组成部分,其各面间正交性对保障系统测量精度至关重要。 为检验三维靶
镜加工是否符合测量机精度要求,对三维靶镜正交偏差角进行测量及不确定度评定,在量值特性分析建模基础上,研究了测量
不确定度表示指南传统方法(称为 GUM 法)、蒙特卡洛方法(MCM)及自适应蒙特卡洛方法(AMCM)3 种测量评定方法。 测量
评定结果对比表明,三维靶镜加工精度基本符合预期要求,其中 Z-X 面和 Y-Z 面的面间夹角均为 0. 5″左右,X-Y 面间夹角在
3. 3″左右;3 种方法所得评定结果基本一致,MCM 和 AMCM 较 GUM 法评定结果更合理,AMCM 相对 MCM 更高效。 所做工作为
后续研究微纳米坐标测量机面向任务的测量不确定度评定提供了借鉴方法。
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| 关 键 词： | 测量不确定度 坐标测量机 测量不确定度表示指南 蒙特卡洛方法 自适应蒙特卡洛方法 |
Measurement uncertainty evaluation of the orthogonal deviation
angles of the target mirror of micro / nano measuring machine |
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| Huang Qiangxian,Zhang Zuyang,Guo Xiaoqian,Chen Zhiwen,Li Hongli,Cheng Rongjun,Zhang Liansheng.Measurement uncertainty evaluation of the orthogonal deviation
angles of the target mirror of micro / nano measuring machine[J].Journal of Electronic Measurement and Instrument,2022,36(10):1-8. |
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| Authors: | Huang Qiangxian Zhang Zuyang Guo Xiaoqian Chen Zhiwen Li Hongli Cheng Rongjun Zhang Liansheng |
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| Affiliation: | 1. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering, Hefei University of Technology, 2. Anhui Province Key Laboratory of Measuring Theory and Precision Instrument,Hefei University of Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | measurement uncertainty coordinate measuring machine (CMM) GUM MCM AMCM |
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