| 元素溅射率与离子束入射角的关系 |
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| 引用本文： | 陈国樑. 元素溅射率与离子束入射角的关系[J]. 核技术, 1987, 0(5) |
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| 作者姓名： | 陈国樑 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 |
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| 摘 要： | Yamamura指出:若能量为E的离子束倾斜轰击多晶元素靶,则原子相对溅射率y(θ)=Y(θ)/Y(0°)随离子束入射角θ变化的曲线可表示为含二个参数的经验公式:y(θ)=t~f·exp{g-(t-1)},t=secθ。其中,f和g是待定参数,其值由实验决定。g=f·cosθ_0,θ_0是元素溅射率Y(θ_0)达到最大值时的离子束最佳入射角。 我们导出了离子束的最佳入射角拟合公式(8),并讨论了它的物理意义。因而,含二个参数的Yamamura经验公式(1)变成只含一个参数的原子相对溅射率公式(4)。其中,待定参数f的值由解析公式(21)给出。
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| 关 键 词： | 相对溅射率 离子束最佳入射角 |
Relation of relative sputtering yields with incidence angles of ions |
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| Chen Guoliang. Relation of relative sputtering yields with incidence angles of ions[J]. Nuclear Techniques, 1987, 0(5) |
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| Authors: | Chen Guoliang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | relative sputtering yield optimum incidence angle of ion beam |
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