| 毫米波MEMS开关S参数在开关过程中的瞬态变化 |
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| 引用本文： | 廖小平,肖建斌.毫米波MEMS开关S参数在开关过程中的瞬态变化[J].光学精密工程,2011,19(3):593-597. |
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| 作者姓名： | 廖小平 肖建斌 |
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| 作者单位： | 东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 研究了静电执行的电容式并联毫米波MEMS开关的S参数在开关过程中的瞬态变化.以一个电容式并联毫米波MEMS开关为实例,采用已有的开关一维力学动态模型,建立了开关过程中开关梁与介质层之间的间隙与时间的关系;通过HFSS电磁仿真软件,得到开关S参数在开关过程中的瞬态变化.结果显示,在开关下拉过程中(用时约9.4 μs),插...
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| 关 键 词： | 毫米波开关 MEMS 开关 S参数 瞬态变化 |
Transient S-parameters of millimeter-wave MEMS switch |
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| LIAO Xiao-ping,XIAO Jian-bin.Transient S-parameters of millimeter-wave MEMS switch[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(3):593-597. |
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| Authors: | LIAO Xiao-ping XIAO Jian-bin |
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| Affiliation: | (Key Laboratory of MEMS,Ministry of Education,Southeast University,Nanjing 210096,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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