| 调制周期对Cr/CrN纳米多层膜的结构与性能的影响 |
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| 引用本文： | 蔡志海,牛庆银,底月兰,张平. 调制周期对Cr/CrN纳米多层膜的结构与性能的影响[J]. 金属热处理, 2011, 36(1) |
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| 作者姓名： | 蔡志海 牛庆银 底月兰 张平 |
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| 作者单位： | 1. 装甲兵工程学院,装备再制造技术国防科技重点实验室,北京,100072
2. 装甲兵工程学院,训练部,北京,100072 |
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| 摘 要： | 采用多弧离子镀技术在65Mn钢表面制备了不同调制周期的Cr/CrN纳米多层膜.采用俄歇能谱仪(AES)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米硬度仪、轮廓仪和划痕仪,分析了不同调制周期Cr/CrN纳米多层膜的成分分布、微观结构、力学性能、残余应力和结合强度.结果表明,Cr/CrN纳米多层膜的表面平整致密,截面层状调制结构清晰,其调制结构为Cr层-过渡层-CrN层的"三明治"结构,调制比约为1∶ 1.多层膜由CrN、Cr2N和Cr相组成,在CrN(200)方向上出现择优取向.当调制周期为80 nm时,多层膜的硬度值相对较高.随调制周期的增大,Cr/CrN多层膜的残余应力值减小,结合强度值先增大后减小.当调制周期为120 nm时,涂层的划痕临界载荷值相对较高,为69 N.
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 调制周期 Cr/CrN纳米多层膜 微观结构 力学性能 |
Influence of modulation period on microstructure and properties of Cr/CrN nanoscale multilayer films |
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| CAI Zhi-hai,NIU Qing-yin,DI Yue-lan,ZHANG Ping. Influence of modulation period on microstructure and properties of Cr/CrN nanoscale multilayer films[J]. Heat Treatment of Metals, 2011, 36(1) |
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| Authors: | CAI Zhi-hai NIU Qing-yin DI Yue-lan ZHANG Ping |
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