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反铁电陶瓷与形状记忆合金的集成及其驱动特性
引用本文:李杰锋,沈星,邱子辉. 反铁电陶瓷与形状记忆合金的集成及其驱动特性[J]. 金属热处理, 2011, 36(2)
作者姓名:李杰锋  沈星  邱子辉
作者单位:1. 南京航空航天大学,智能材料与结构航空科技重点实验室,江苏南京210016;南京航空航天大学,无人机研究院,江苏南京210016
2. 南京航空航天大学,智能材料与结构航空科技重点实验室,江苏南京210016
摘    要:采用物理气相沉积方法在RAINBOW结构的反铁电陶瓷上沉积了形状记忆合金膜.用扫描电镜对膜层进行分析显示,形状记忆合金膜与RAINBOW反铁电陶瓷的还原层形成了良好的结合界面.采用划痕法和热循环试验分别对其力学性能和热驱动性能进行测试表明,集成后元件的正向承载强度提高35%,形状记忆合金膜层可以提高元件的驱动能力.

关 键 词:物理气相沉积  形状记忆合金  反铁电陶瓷  集成  驱动

Integration and driving characteristic of RAINBOW anti-ferroelectrics ceramics with SMA
LI Jie-feng,SHEN Xing,QIU Zi-hui. Integration and driving characteristic of RAINBOW anti-ferroelectrics ceramics with SMA[J]. Heat Treatment of Metals, 2011, 36(2)
Authors:LI Jie-feng  SHEN Xing  QIU Zi-hui
Abstract:
Keywords:
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