| 闭环电容式微加速度计全差分CMOS接口电路 |
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| 引用本文： | 刘晓为,尹亮,李海涛,周治平. 闭环电容式微加速度计全差分CMOS接口电路[J]. 光学精密工程, 2011, 19(3): 580-586. DOI: 10.3788/OPE.20111903.0580 |
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| 作者姓名： | 刘晓为 尹亮 李海涛 周治平 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,微电子技术与科学系,黑龙江,哈尔滨150001 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种用于电容式微加速度计的低噪声、高线性度全差分接口电路.基于开关电容检测技术,该电路采用一种新的双路反馈结构来提高系统线性度,并采用2 μm n阱CMOS工艺完成芯片设计.仿真结果证明,电路中采用的双路反馈和全差分检测结构使系统的线性度达到0.01%.加入经过优化设计的比例-微分-积分控制器后,有效减小了系统稳...
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| 关 键 词： | 闭环电容式微加速度计 全差分接口电路 比例-微分-积分控制器 低噪声 高线性度 |
Full differential CMOS interface circuit for closed-loop capacitive micro-accelerometers |
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| LIU Xiao-wei,YIN Liang,LI Hai-tao,ZHOU Zhi-ping. Full differential CMOS interface circuit for closed-loop capacitive micro-accelerometers[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(3): 580-586. DOI: 10.3788/OPE.20111903.0580 |
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| Authors: | LIU Xiao-wei YIN Liang LI Hai-tao ZHOU Zhi-ping |
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| Affiliation: | (Department of Microelectronics,Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China) |
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