| 阵列式硅压阻压力传感器的研究 |
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| 引用本文： | 王长虹,程颖,陶文中.阵列式硅压阻压力传感器的研究[J].传感器与微系统,2000,19(5):17-18,21. |
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| 作者姓名： | 王长虹 程颖 陶文中 |
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| 作者单位： | 信息产业部电子第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器 ,就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述 ,其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体。
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| 关 键 词： | 阵列 压力传感器 CMOS工艺 |
Research on piezo-resistance pressure sensor array |
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| WANG Chang-hong,CHENG Ying,TAO Wen-zhong.Research on piezo-resistance pressure sensor array[J].Transducer and Microsystem Technology,2000,19(5):17-18,21. |
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| Authors: | WANG Chang-hong CHENG Ying TAO Wen-zhong |
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| Abstract: | A silicon piezo-resistance pressure se nsor array is introduced,the structure of array,fabricating process and result a re also briefly described.Fabrication of the sensor array is carried out using s ilicon micromachining techiques combined with semiconductor CMOS process. |
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| Keywords: | array pressure sensor CMOS process |
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