| MOCVD制备用于薄膜太阳电池的ZnO薄膜研究 |
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| 引用本文： | 徐步衡,薛俊明,赵颖,张晓丹,魏长春,孙建,刘芳芳,何青,侯国付,任慧志,张德坤,耿新华. MOCVD制备用于薄膜太阳电池的ZnO薄膜研究[J]. 光电子．激光, 2005, 16(5): 515-518 |
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| 作者姓名： | 徐步衡 薛俊明 赵颖 张晓丹 魏长春 孙建 刘芳芳 何青 侯国付 任慧志 张德坤 耿新华 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家“973”重点基础研究资助项目( G2000028202，G2000028203 )，教育部重点资助项目( 02167 )，国家合作资助项目(2002DFG00051，023100711)，天津市自然科学基金资助项目(043604911) |
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| 摘 要： | 利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长技术,采用二乙基锌(DEZ)作Zn源和H2O作O源,使用B2H6 为掺杂气体,制备出了光电特性稳定的低电阻率、高透过率的ZnO薄膜。制备条件为:衬底温度160 ℃,DEZ的流量为342μmol/min,H2O流量为500μmol/min,反应气压为5×133.32 Pa,B2H6 流量为5 sccm,掺杂手段为气体掺杂。在薄膜面积为10 cm×10 cm、厚度为550 nm时,方块电阻为40Ω/□。透过率>85%。
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| 关 键 词： | 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) ZnO B2H6 |
| 文章编号： | 1005-0086(2005)05-0515-04 |
Research on ZnO Thin Films Prepared by MOCVD for Solar Cells |
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| XU Bu-heng. Research on ZnO Thin Films Prepared by MOCVD for Solar Cells[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2005, 16(5): 515-518 |
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| Authors: | XU Bu-heng |
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| Affiliation: | XU Bu-heng~ |
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| Keywords: | metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD) ZnO B_2H_6 doping |
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