| 基于遗传算法的显影速率参数确定 |
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| 引用本文： | 郝慧娟,张玉林,魏强,卢文娟. 基于遗传算法的显影速率参数确定[J]. 微细加工技术, 2007, 0(3): 6-8,17 |
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| 作者姓名： | 郝慧娟 张玉林 魏强 卢文娟 |
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| 作者单位： | 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;山东省自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较.结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显影速率参数的确定.该拟合可以为显影模拟、曝光条件的优化提供更精确的参数.
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| 关 键 词： | 显影速率 最小二乘法 遗传算法 Gauss-Newton迭代法 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)03-0006-03 |
| 修稿时间： | 2006-11-05 |
Determination of Development Rate Parameters Based on Genetic Algorithm |
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| HAO Hui-juan,ZHANG Yu-lin,WEI Qiang,LU Wen-juan. Determination of Development Rate Parameters Based on Genetic Algorithm[J]. Microfabrication Technology, 2007, 0(3): 6-8,17 |
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| Authors: | HAO Hui-juan ZHANG Yu-lin WEI Qiang LU Wen-juan |
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