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三氯化铁蚀刻液的蚀刻能力研究
引用本文:张刚,于明瑶,康艳红.三氯化铁蚀刻液的蚀刻能力研究[J].辽宁化工,2012,41(12):1248-1249,1265.
作者姓名:张刚  于明瑶  康艳红
作者单位:1. 沈阳师范大学化学与生命科学学院,辽宁沈阳 110034;沈阳师范大学旅游管理学院,辽宁沈阳 110034
2. 沈阳师范大学化学与生命科学学院,辽宁沈阳,110034
3. 沈阳师范大学旅游管理学院,辽宁沈阳,110034
摘    要:研究了三氯化铁蚀刻液对铁镍合金的蚀刻能力,通过对比实验,得出三氯化铁蚀刻液的最佳刻蚀温度为40℃,40℃时,20 mL蚀刻液的最大蚀刻速度为0.021 mg·min-1·mm-2;达到有效蚀刻量46.39 g/L时,蚀刻速度为0.009 4 mg·min-1·mm-2;达到最大蚀刻量58.79 g/L时,蚀刻速度为0.002 46mg·min-1·mm-2.

关 键 词:三氯化铁蚀刻液  蚀刻  蚀刻能力

Study on Etching Capability of Ferric Chloride Etchant
ZHANG Gang , YU Ming-yao , KANG Yan-hong.Study on Etching Capability of Ferric Chloride Etchant[J].Liaoning Chemical Industry,2012,41(12):1248-1249,1265.
Authors:ZHANG Gang  YU Ming-yao  KANG Yan-hong
Affiliation:1.College of Chemistry and Life Science,Shenyang Normal University,Liaoning Shenyang 110034,China; 2.Tourism Management Institute,Shenyang Normal University,Liaoning Shenyang 110034,China)
Abstract:
Keywords:
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