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| EPM-810Q电子探针图像系统故障维修 | |
| 引用本文： | 吴杰.EPM-810Q电子探针图像系统故障维修[J].电子显微学报,1998,17(5):662-663. |
| 作者姓名： | 吴杰 |
| 作者单位： | 福建省测试技术研究所,福州,350003 |
| 摘 要： | ＥＰＭ－８１０Ｑ电子探针图像系统其扫描成像基本原理是：扫描发生器产生的锯齿波分别加到置于物镜孔中的Ｘ、Ｙ扫描线圈和显像管的Ｘ、Ｙ偏转线圈上，实现电子束在样品表面和显像管荧光屏上的同步扫描。通过扫描偏转动作，电子束能依次到达样品表面，依次得到表面各位置... |
| 关 键 词： | 电子探针 图像系统 故障处理 |
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