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| 声表面波直线型电机小型化的研究 | |
| 引用本文： | 熊瑛,邬玉亭,褚家如. 声表面波直线型电机小型化的研究[J]. 机械制造, 2004, 42(3): 42-44 |
| 作者姓名： | 熊瑛 邬玉亭 褚家如 |
| 作者单位： | 中国科技大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026;中国科技大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026;中国科技大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026 |
| 摘 要： | 随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展，设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势。文章介绍了一种以铌酸锂／石英／硅层状结构作为压电基片，可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机。 |
| 关 键 词： | 声表面波速度 机电耦合系数 压电材料 声表面波直线型电机 |
| 文章编号： | 1000-4998(2004)03-0042-03 |
Research of Minitype Surface Acoustic Wave Linear Motor |
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