用激光束检查极板的新技术

日本电气株式会社开发了一种能在LSI生产线上高效检查极板灰尘和图形缺陷等障碍的技术“LB显示器”。 激光束对着极板斜向射入。极板上的图形有规则地排列，起衍射光栅的作用。新技术的要点是用空间滤波器去除图形的散射光。这样，正常极板发出的光不会射入显微镜。如果图形上有缺陷或吸附有灰尘，就能观察到散射光。 利用激光束检查极板以前曾有过。其光学系统比较复杂，除了物镜、成像透镜外，还有中间透镜等。而LB显示器的光学系统简单，光学检查探头约为以前的一半，可实现小型、轻量化。装置的设置面积可减到以前的1/5。以前的检查装置不能编入生产线，设置在另外的检查区域。LB显示器可设置在制造装置附近，因为光学头简单，故可靠性高，有利于维护。 因为能把检查结果即刻反映到生产线上，故大大提高了成品预测精度。现在，LSI生产方面的研究开发费、设备投资年年都在膨胀，为回收这笔费用，须开发新工艺、新装置，极力缩短从制作到批量生产和成品提高的时间。新技术有助于这些课题的解决。