一种抗大过载微型加速度计研究 |
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引用本文: | 曾昭君,石进杰. 一种抗大过载微型加速度计研究[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 281-283,288 |
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作者姓名: | 曾昭君 石进杰 |
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作者单位: | 北京大学微电子研究所,北京,100871 |
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摘 要: | 讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理;设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性;进而利用ANSYS对器件进行模态分析,找出结构上应变最大的位置,并对结构尺寸进行优化;提供一种可能的电路版图说明,并对加速度计的灵敏性进行理论分析;最后提供一种可行的加工工艺方法。
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关 键 词: | 微型加速度计 MEMS 大过载 ANSYS 工作原理 |
文章编号: | 1671-4776(2003)07/08-0281-03 |
A novel piezoresistive accelerometer with high accuracy and overload ability |
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Abstract: | |
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Keywords: | MEMS ANSYS |
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